文献描述：

PZT薄膜的相转变与晶格参数的研究

研究Sol-gel制备PZT薄膜材料相结构与晶格参数,研究PZT薄膜相变,衬底与温度关系和不同Zr/Ti比Pb(ZrxTi1-x)O3(x=0.2～0.8).结果表明:PZT薄膜从烧绿石相向钙钛矿相转变的温度在Pt衬底上为600℃,在不锈钢上为650℃.PZT铁电体薄膜的晶格参数和晶格畸变随Zr/Ti比的不同而变化;在铁电四方相区,随Zr含量增加,a=b轴逐渐增大,c轴稍有缩短,四方晶系发生畸变;

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