为了磁性元件能够实现高频化与微型化，基于磁性薄膜的磁性元件在近几十年内被广泛研究。具体地，薄膜化的磁性元件相比基于块材磁芯的磁性元件至少具有以下三点优势。**，薄膜化的磁性元件使得磁性元件实现了器件小型化、平面化，并且其制造可以通过镀膜、光刻等目前电子工业通用的工艺实现，**有利于与其他电子元件一起集成;**，如果磁性薄膜的膜厚小于电磁波趋肤深度，则可以大大**涡流损耗，进而在磁性材料的选择上，对电阻率的要求更低，相比于块材磁芯可以具有更广的材料选择范围l5';第三，相关理论表明，对于相同的磁性材料，在磁导率一定的情况下，薄膜形态相比于块材形态可以具有更高的铁磁共振频率,进而可以工作于更高的频率。以上这些优势决定了薄膜化的磁性元件是未来磁性元件发展的重要方向之一。

对于上述薄膜化的磁性元件的研究主要集中在两个层面:**是基于磁性薄膜的平面化器件设计，**是研发具有优良高频性能的磁性薄膜。

对于器件设计，以薄膜电感为例，早在1984年日本大阪大学的Kawabe等人就开发出了**的三种形态的薄膜电感,即环绕型(Hoop type)、螺旋型(Spiraltype）和折线形(Meander type)，其制作流程及**参数如图1所示。之后，螺旋线圈型的薄膜电感占据了主导地位，主要包括了圆形螺旋型、矩形螺旋型、六（八）边螺旋型、双矩螺旋型等一系列的结构。

供应产品目录：

二硒化钯二维晶态薄膜

二碲化钯 PdTe2薄膜

内嵌高密度钯纳米晶的介质薄膜

钯/铂纳米薄膜

钯(Ⅱ)-锌卟啉-二氧化钛三元复合配位聚合物薄膜

单质钯薄膜/钯复合多层薄膜

钯纳米薄膜

负载钯多层复合薄膜

三碲化锆 ZrTe2薄膜

锆掺杂二氧化铪基纳米薄膜

**Pb(Zr0.2Ti0.8)O3薄膜

Pb(Zr,Ti)O3薄膜

二维MoTe2薄膜

Cd1-xZnxTe多晶薄膜

二氧化锆ZrO2薄膜

二硒化钽TaSe2薄膜

二硫化钽TaS2薄膜

钽掺杂二氧化钛TiO2薄膜

二硫化钼/二硫化钨多层掺钽薄膜

纳米结构316L不锈钢基掺钽TiO_2薄膜

三硫化二铟（In2S3）薄膜

多孔三硫化二铟（In2S3）薄膜

硫化二铟(In2S3)缓冲层纳米晶薄膜

具有纳米网状结构的硫化铟纳米晶阵列薄膜

碱式硝酸铜薄膜

均匀致密的In2S3/Cu2(OH)3(NO3)复合薄膜

多孔TiO2薄膜

铜铟镓硒薄膜(CIGS)

碲化亚铁FeTe薄膜

铋碲硒Bi2Te2S薄膜

铋锑碲基热电薄膜

N型碲化铋基热电薄膜

钼钨硒MoWSe2薄膜

大尺寸WSe2薄膜

钼钨碲MoWTe2薄膜

钼硫硒MoSSe薄膜

提高柔性铜铟镓硫硒薄膜

MoO3薄膜

铋氧硒Bi2O2Se薄膜

高迁移率层状Bi2O2Se半导体薄膜

硒化铋纳米结构薄膜

c轴取向铋铜硒氧基氧化物热电薄膜

用硫酸铋制备硒化铋热电薄膜

**晶圆级硒氧化铋半导体单晶薄膜

氧化铋BiOx薄膜

铋铜硒氧基类单晶薄膜

铋氧碲Bi2O2Te薄膜

铋碲硒Bi2Te2Se薄膜

p-型Bi-Sb-Te-Se温差电薄膜

Bi2Te3-ySey温差电材料薄膜

铁锗碲Fe3GeTe2薄膜

大面积二维铁磁性材料Fe3GeTe2薄膜

六氰亚铁钒薄膜

室温铁磁硅锗锰半导体薄膜

BaxSr1—xTiO3铁电薄膜

含铁二氧化钛Fe^3+/TiO2复合纳米薄膜

P(VDF-TrFE)铁电薄膜

矽锗磊晶薄膜

锗-二氧化硅Ge-SiO2复合薄膜

纳米复合堆叠锌锑锗碲相变存储薄膜

含铁二氧化钛(TiO2)印迹薄膜

室温铁磁半导体Co掺杂的TiO2薄膜

（Ba,Sr)TiO3(简称BST)铁电薄膜

黑磷薄膜

铁磷硫FePS3薄膜

銅錫硒(Cu2SnSe3)薄膜

金属硒化物薄膜

銅(銦,鎵)硒及銅鋅錫硒薄膜

碘化镍NiI2薄膜

溴化镍NiBr2薄膜

碘化锰MnI2薄膜

铜钒磷硫CuVP2S6薄膜

二氧化钒智能温控薄膜

铜锑硫薄膜

CulnS2薄膜

CBD硫化铟薄膜

钒氧化物薄膜

铜铬磷硫CuCrP2S6薄膜

铜铁锡硫(CFTS)薄膜

铜铟硫光电薄膜

铬-氧薄膜

铜铟硒硫薄膜

铬硅碲CrSiTe3薄膜

镍铬/铬硅钴薄膜

多元Cr-Si系硅化物薄膜

碲化镉-硅基薄膜

嵌入多纳米片的碲化铬薄膜

三价铬电沉积纳米结构镀层/薄膜

铬锗碲CrGeTe3薄膜

锗镓碲硫卤玻璃薄膜

高性能锗锑碲相变薄膜

银/铬（Cr/Ag）薄膜

铜铟磷硫CuInP2S6薄膜

铜铟硫(CuInS2,简称CIS)半导体薄膜

氯化铬CrCl3薄膜

碲化钴CoTe2薄膜

钴掺杂TiO2薄膜

银钒磷硒AgVP2Se6薄膜

银纳米薄膜

银铋硫薄膜

铬-银-金薄膜

石墨烯/银复合薄膜

银金纳米线PDMS复合薄膜

聚乙烯醇/二氧化钛(PVAmO2)纳米复合薄膜

电沉积银铟硒薄膜

冷轧钯银合金薄膜

三硫化二镓Ga2S3薄膜

FeS2复合薄膜

三硒化二镓Ga2Se3薄膜

纳米砷化镓（GaAs）薄膜

砷化镓（GaAs）纳米结构薄膜

砷化镓（GaAs）多晶薄膜

GaAs/Ga2O3复合多晶薄膜

镓铟硒GaInSe薄膜

铜铟镓硒(Cu(In,Ga)Se_2,简写GIGS)薄膜

大面积铜铟镓硒(GIGS)薄膜

磷化镓GaP薄膜

柔性铜铟镓硒(CIGS)薄膜

硫化锌(ZnS)缓冲层薄膜

镓硫碲GaSTe薄膜

基于锗镓碲硫卤玻璃薄膜

yyp2021.3.25