西安齐岳生物科技有限公司供应的溅射靶材主要通过烧结、热等静压、真空熔炼、粉末冶金等方法制备，可根据客户的具体要求定做不同成分、规格的镀膜材料，并为客户提供技术上的服务与支持。

钛铝合金是一种真空镀膜用合金溅射靶材，在该合金中通过调配钛与铝的含量可以获得不同特性 的钛铝合金靶材。钛铝金属间化合物属于硬脆材 料，具有很好的耐磨性，在普通刀具表面覆着一层钛 铝金属间化合物，可以**延长刀具的使用时间。

   溅射合金靶材需要满足纯度、致密度、晶粒度、表面光洁度等要求。其中纯度、致密度及晶粒度 与靶材制备工艺直接相关。金属合金制备通常采用的普通熔炼法。但钛铝合金的制备不适于采用该方法，主要原因如下：

(1) 钛铝合金熔炼过程易形成多种金属间化合物，如 Ti3A1、TiAl、TiAl2、TiAl3等，这些金属间化合物的存 在导致钛铝合金的加工脆性，特别是当合金中铝含 量超过50％(原子比)，该问题尤为明显；

(2)熔炼工 艺制备钛铝合金靶材，浇注过程中易产生气泡、疏松 和偏析，造成合金中成分与组织不均匀，导致靶材品 质不稳定蚓6。

目前钛铝合金溅射靶材的主要制备技术有：强 电流加热法、热等静压烧结法、热压烧结法。 

1.强电流加热法 

该法采用可获得大电流的装置， 利用大电流使钛粉和铝粉发热，施以压力，使铝和钛 自身反应形成钛铝合金靶材。该法制备得到的钛铝合金靶材产品的致密度 >99％，晶粒尺寸≤100微米，纯度>99％。

2.热等静压烧结法

该法将钛粉和铝粉进行混料，然后 经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热 等静压压制成型，**后进行烧结和加工得到钛铝合金靶材。该法制备的钛铝合金靶材具有致密度高、无气 孔、无疏松和偏析、成分均匀、晶粒细小等特点。

3.热压烧结法 

该工艺使钛铝粉体在热和力的共同 作用下烧结成型，利用Ti—Al混合物中铝的熔点 低，将钛粉粘结在一起，形成合金溅射靶材。热压 烧结示意图如图2所示。该法制备得到的合金靶材致密度高(≥95％)， 晶粒尺寸细小(≤100 微米)，成分均匀。用该工艺可 制备出不同成分的钛铝合金靶材。

以下是客户经常购买的金属合金靶材，如有金属溅射靶材的需要请来咨询我们。

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