齐岳金属溅射靶材生产工序
1、原材料 - 超高纯金属材料铸锭,切断,成分检查、不纯物检查
2、塑性变形材结晶过程 - 塑性加工,热处理,尺寸检查,取向检查
3、焊接 - 焊接强度检查,焊接结合率检查
4、机加
5、检测 - 尺寸检测,成分检测、外观检测
6、清洗、干燥、包装 (包装检查、文件检查)
7、出货
金属溅射靶材溅射原理示意
齐岳金属溅射靶材种类
1.根据形状可分为方靶,圆靶,异型靶
2.根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材
3.根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等
4.根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材
齐岳高纯金属溅射靶材应用领域
1.半导体用金属靶材
半导体芯片用金属溅射靶材的作用,就是给芯片上制作传递信息的金属导线。具体的溅射过程:**利用高速离子流,在高真空条件下分别去轰击不同种类的金属溅射靶材的表面,使各种靶材表面的原子一层一层地沉积在半导体芯片的表面上,然后再通过的特殊加工工艺,将沉积在芯片表面的金属薄膜刻蚀成纳米级别的金属线,将芯片内部数以亿计的微型晶体管相互连接起来,从而起到传递信号的作用。
2.集成电路产业中高纯金属靶材及其应用
晶圆制造 - 主要金属靶材系列Al、AlSi、AlCu、AlSiCu、W、Ti、WTi等,主要用于铝互联;Cu、CuAl、CuMn、Ta、Ru等,主要用于铜互联;W、Wsi、Ti、Co、NiPt等,主要用于规划无接触;Ti、Ta、TiAl等,主要用于金属栅。
3.溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、**装饰用品等行业。
西安齐岳生物供应的纯金属单质靶材产品目录如下:
温馨提示:西安齐岳生物提供的所有产品仅用于科研,不能用于人体。